【48812】首台国产半导体12英寸超精细晶圆环切设备在甬交给


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发布时间:2024-07-14 19:09:42

  央广网宁波12月29日音讯(记者 刘欣莹 通讯员 劳超杰)12月29日上午,由宁波芯丰精细科技有限公司研发出产的国内首台12英寸全自动超精细晶圆环切设备正式交给。该设备的成功研发,不只填补了国内市场的空白,敞开了我国半导体设备制作新篇章。

  据悉,该设备是选用高度智能化“操控-自反应”技能,完成了对晶圆边际的微米级超精细加工,全面兼容8寸及12寸晶圆,可满意最先进的全自动半导体产线及人工智能芯片的研发工艺需求。

  人工智能(AI)范畴近年日新月异,对工业界和社会生活各方面有深远影响并发明了巨大的市场需求,一起关于AI芯片的功能、功耗和本钱提出更严厉的要求。三维集成(3D IC)技能是满意AI需求的中心技能之一,代表着半导体制作的开展热门和重要方向。该技能经过将多个芯片笔直堆叠在一起,提高功能、下降功耗和制作本钱。三维堆叠技能对加工工艺和制作设备都提出了新的应战,需要对晶圆在微米级完成超精细环切加工,去除晶圆边际部分资料,来提高芯片良率,可靠性和安稳才能。三维集成所触及的各种不同芯片,包含CPU、GPU、存储芯片和CIS芯片等多种芯片,在堆叠过程中都必须用到环切设备。

  “环切精度是在深度和宽度都要十分精细的操控,它的操控精度要到达个位数微米级,意味着人类头发丝的十分之一,这个现在也是咱们公司做的数据,到达了世界最领先水平,为咱们的团队感觉到很自豪。”宁波芯丰精细科技有限公司总经理万先进告知记者。

  近年来,芯丰精细成立了以海外专家、985博士为中心的研发技能团队,聚集三维堆叠技能所需的减薄、环切设备及配套耗材等范畴,加大技能攻关,先后申请专利70余项,当选“姚江英才”和 “甬江人才”项目。下一步,这款设备将逐渐进入国内头部半导体产线,为我国半导体制作工业的开展供给强有力的技能上的支撑,助力造就更好的“我国芯”。

  12月29日上午,由宁波芯丰精细科技有限公司研发出产的国内首台12英寸全自动超精细晶圆环切设备正式交给。该设备的成功研发,不只填补了国内市场的空白,敞开了我国半导体设备制作新篇章。